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  • 檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="矽甲烷"


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    1

    以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積法製備非晶矽薄膜太陽能電池元件之研究
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 黃雅琴 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以設計出非晶…
    • 點閱:457下載:3

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    矽烷/鍺烷在矽(100)-2x1 表面吸附反應機制之理論計算的研究
    • /93/ 碩士
    • 研究生: 馬正杰 指導教授: 江志強
    • 摘要 本文使用 ab initio 分子軌域計算,配合過渡態理論求得的反應速率常數,以尋找矽烷、鍺烷反應系統合成鍺化矽薄膜程序的主要反應發生途徑。有關量子化學計算,皆採用 B3LYP/6-31G[…
    • 點閱:212下載:0
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    矽鍺(100)-2x1表面之矽/鍺甲烷二矽/鍺烷分解吸附與氫遷移脫附之DFT理論計算研究
    • /95/ 博士
    • 研究生: 鄭家樑 指導教授: 蔡大翔
    • 我們使用密度泛函數(DFT)法研究SiH4, GeH4, Si2H6, and Ge2H6分解吸附與氫遷移和脫附於SiGe(100)-2x1表面。由於鍺加入於Si(100)-2x1表面內影響了dim…
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    以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積法製備非晶矽薄膜太陽能電池元件之研究
    • /99/ 碩士
    • 研究生: 周首成 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數反應壓力及三甲基硼(TMB)摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以探求非晶…
    • 點閱:427下載:1
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